山东瑞康真空镀膜设备

【真空镀膜设备之涡轮分子泵】： 涡轮分子泵：涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。主要用于高真空或超高真空，属于干泵，极限真空10&7~10&8Torr，烘烤后可到10&10Torr，抽速可从50L/S~3500L/S。分子泵是靠高速转动的涡轮转子携带气体分子而获得高真空、超高真空的一种机械真空泵。泵的转速为10000转/分到50000转/分，这种泵的抽速范围很宽，但不能直接对大气排气，需要配置前级泵。分子泵抽速与被抽气体的种类有关，如对氢的抽速比对空气的抽速大20%。 关于真空镀膜设备，你知道多少？山东瑞康真空镀膜设备

【近些年来出现的新的镀膜方法】： 除蒸发法和溅射法外，人们又综合了这两种方法的优缺点，取长补短，发展出一些新的方法，如：等离子体束溅射等。这种崭新的技术结合了蒸发镀的高效和溅射镀的高性能特点，特别在多元合金以及磁性薄膜的制备方面，具有其它手段无可比拟的优点。高效率等离子体溅射(High Target Utilization Plasma Sputtering(HiTUS))实际上是由利用射频功率产生的等离子体聚束线圈、偏压电源组成的一个溅射镀膜系统。这种离子体源装置在真空室的侧面。如图1所示。图2为实际的镀膜机照片。该等离子体束在电磁场的作用下被引导到靶上，在靶的表面形成高密度等离子体。同时靶连接有DC/RF偏压电源，从而实现高效可控的等离子体溅射。等离子体发生装置与真空室的分离设计是实现溅射工艺参数宽范围可控的关键，而这种广阔的可控性使得特定的应用能确定工艺参数Zui优化。 与通常的磁控溅射相比，由于磁控靶磁场的存在而在靶材表面形成刻蚀环不同，HiTUS系统由于取消了靶材背面的磁铁，从而能对靶的材料实现全mian积均匀。云南进口真空镀膜设备真空镀膜设备怎么维修。

【离子镀膜法之活性反应蒸镀法】：活性反应蒸镀法(ABE):利用电子束加热使膜材气化；依靠正偏置探极和电子束间的低压等离子体辉光放电或二次电子使充入的氧气、氮气、乙炔等反应气体离化。这种方法的特点是：基板温升小，要对基板加热，蒸镀效率高，能获得三氧化铝(AL2O3)、氮化钛(TiN)、碳化钛(TiC)等薄膜；可用于镀机械制品、电子器件、装饰品。【离子镀膜法之空心阴极离子镀(HCD)】：空心阴极离子镀(HCD):利用等离子电子束加热使膜材气化；依靠低压大电流的电子束碰撞使充入的气体Ar或其它惰性气体、反应气体离化。这种方法的特点是：基板温升小，要对基板加热，离化率高，电子束斑较大，能镀金属膜、介质膜。

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之灰点脏】： 现象：镜片膜层表面或内部有一些电子（不是膜料点），有些可擦除，有些不能擦除。并且会有点状脱膜产生。 原因： 1. 真空室脏 2. 镜圈或碟片脏 3. 镜片上伞时就有灰尘点，上伞时没有检查挑选。 4. 镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因，特别是当镜片热的时候，更容易吸附灰尘，而且难以擦除。 改善思路：杜绝灰尘源 1. 工作环境改造成洁净车间，严格按洁净车间规范实施。 2. 尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。 3. 真空室周期打扫，保持清洁。 真空镀膜设备品牌排行。

【光谱分光不良的补救（补色）之停电】： 分光不良分为二种情况：一是全部膜系镀制完成后，经测试分光不良，此类不良主要按六节所述方法处理，一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断（包括发现错误中断）造成的分光不良，一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确，补救成功率比较高。 中断的原因形式之停电： 对于停电这种情况，比较好处理，只要确认前面镀的没错，程序没有用错，就可以继续原来的程序，要注意的是：如果某一层镀了一部分继续镀下去时，交接处要减少一些膜厚（根据膜料、蒸发速率决定减少多少，一般时0.2~1nm左右），如果该层剩下的膜厚不足15~20秒蒸镀时，要考虑降低蒸发速率或干脆不读，通过后续层调整膜厚解决。真空镀膜设备是什么？山东净下真空镀膜设备维修

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【真空镀膜设备之真空的获得】： 真空泵：真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广fan用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。 A、粗真空泵（Rough Vacuum Pump）：一般用于抽粗真空，有油泵和 干泵。从结构上可分几种： 旋转叶片泵：油泵，极限真空可达10&3Torr，抽速1~650CFM 隔膜泵：干泵，极限真空1Torr左右，抽速<10CFM 往复式活塞泵：干泵，极限真空10&2Torr，抽速6~32CFM 涡旋式真空泵：干泵，极限真空10&2Torr，抽速12~25CFM 螺旋泵：干泵，极限真空10&3Torr，抽速30~318CFM 山东瑞康真空镀膜设备